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          物聯網RFID系統提升半導體制造行業生產效率

          發布時間:2023-10-19 點擊數:875

          由于芯片短缺問題和近2年海運擁堵和成本上升等因素,致使全球資本對于芯片制造工廠的投入增大,而中興、華為的例子已經凸顯出國產半導體供應鏈的重要性,除去地緣政治上的意義,發展半導體其實是中國經濟的轉型的必走之路。

           

          半導體生產是一種高度復雜的工藝,涉及數百個工序。由于尺寸特殊且非常精密,幾乎無法手動生產集成電路。此外,生產對純度、潔凈度和功能性提出了嚴格要求。因此,半導體工廠需要高度自動化、智能互聯、模塊化且靈活的生產理念,物聯網RFID技術推動半導體行業的自動化發展,提高芯片企業產能!

           

          方案一:RFID在半導體行業天車設備的應用

           

          由于12寸晶圓盒非人力能所搬動,需要用到天車設備進行搬運,將分體式低頻讀寫器JY-V640安裝在天車設備,識別FOUP的TI標簽部署在行車節點,當天車設備經過是,讀寫器自動感應TI標簽,上傳至后臺管理系統,系統根據指令快速調度天車設備的下一步工序路徑,實現井然有序的工作。

           

           

           

           方案二:RFID半導體晶圓產線的應用

           

          將RFID讀寫器部署在機械手臂,晶圓盒部署RFID載碼體,當機械手臂開始工作時,讀寫器自動采集載碼體信息,及時了解是什么產品、如何加工、何時加工,并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置,可顯著減少晶圓的供應時間,并充分減少該工序的工作量,倉儲管理系統將RFID的信息與生產控制系統 (MES) 的信息關聯在一起,可實時監測所有晶圓。

           

           

           

           方案三:RFID在半導體晶元儲存柜的應用

           

          將RFID讀取器部署在儲存柜承載平臺支撐板下方,將RFID載碼體安裝至晶圓盒,當晶圓進入儲存柜時,RFID讀取器識別RFID載碼體來監測拾放物料期間晶圓的儲存位置。因此,必要時可立即找到所有儲存的晶圓。

           

           

           

           方案四:RFID在半導體車間AGV搬運機器人的應用

           

          在半導體車間實現無人化運輸管理,采用AGV小車進行物料運輸,將RFID讀寫器安裝在AGV小車底部,在運輸軌道節點部署RFID載碼體,當AGV小車經過軌道節點時,讀寫器自動采集載碼體信息,實時掌握物料的運輸情況及其往哪個生產工序運輸。

           

           

           

          實施效益

          1,避免人為原因導致放置的高度以及數量有限,更加精準利用空間;

           

          2,避免人工帶來出錯、耗時等問題;

           

          3,可以跟蹤所有的物料流;

           

          4,及時掌握晶圓芯片的存取情況;

           

          5,減少污染,保持晶圓潔凈;

           

          6,提升半導體行業自動化管理水平。

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